该设备针对半导体开发一款专用设备,广泛应用在集成电路晶圆、GPP二极管晶圆、GPP可控硅、TVS晶圆的划线切割,以及Wafer表面胶层开槽。采用高精度直线平台,进口高精度DD马达,保证切割精度;
半导体专用机械手臂(双臂)上下料,提高速度及稳定性;
自动上下料、自动对位、自动调焦,通用于4-6寸晶圆;
进口激光器配备自主研发光路系统及控制程序,稳定可靠,操控方便,易于维护;
应用范围:
广泛应用在集成电路晶圆、GPP二极管晶圆、GPP可控硅、TVS晶圆的划线切割,以及Wafer表面胶层开槽。
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