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双轨自动涂源机
双轨自动涂源机

双轨自动涂源机

产品介绍:

1)控制系统由PLC触摸屏构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。

2)传片方式通过导轨丝杆传动。

3)主轴使用伺服电机,RS485通讯精确控制转速。

4)采用蠕动泵滴源,保证了定量滴乳胶源,可节省扩散源用量。

5)设置灵活,多功能。通过一键设置,可将自动涂源转换为手动涂源。

7)热板控温方式为温控表,自带超温保护系统,热板均匀性好。热板采用顶针升降,方便晶圆烘烤。


                    最高转速                       5000RPM


                   转速精准度                    ≤1-4%RPM


     涂源       滴胶手臂控制                  步进马达       


                 滴胶头位置精准                ≤0.2mm


该设备为全自动上下料涂源设备,主要应用于3-6寸晶圆涂源、烘干,采用标准片盒收放片,自动运行。该设备为双轨道形式,上料、涂源、烘干、取料。