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88式手臂传片匀胶机
88式手臂传片匀胶机

88式手臂传片匀胶机

产品介绍:

1、控制系统由PLC触摸屏构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。

2、传片方式通过手臂传动。

3、主轴使用高速伺服电机,带数字显示,精确控制转速。

4、自主设计开发薄膜式的喷胶泵,出胶稳定,自带回吸,保证了定量滴胶,可节省光刻胶用量。

5、设置灵活,多功能。通过一键设置,可将自动滴胶转换为手动滴胶。

6、热板控温精确,自带超温保护系统,热板均匀性好。热板采用顶针升降,方便硅片烘烤。



                 最高转速                       6000RPM


                 转速精准度                    ≤1-4%RPM


     匀胶     滴胶手臂控制                  步进马达       


                 滴胶头位置精准               ≤0.2mm


该设备为全自动上下料匀胶设备,主要应用于3-5寸方形晶圆涂胶、烘干,采用标准片盒收放片,自动运行。该设备为单轨道形式,上料、涂胶、烘干、取料。