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显定影机

显定影机

产品介绍:

1)控制系统由PLC触摸屏构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。

2)传动方式通过皮带传片(86式),手臂传片(88式)。

3)主轴使用高速伺服电机,带数字显示,精确控制转速。

4)喷淋显影两路液罐,一路氮气。也可由客户工艺配置液路和气路。


                 最高转速                       6000RPM


                 转速精准度                    ≤1-4%RPM


     匀胶     滴胶手臂控制                  步进马达       


                 滴胶头位置精准               ≤0.2mm


该设备为全自动上下料匀胶设备,主要应用于3-6寸晶圆喷淋显影定影工艺,采用标准片盒收放片,自动运行。该设备为双轨道形式。