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立式甩干机SA-SV422
立式甩干机SA-SV422

立式甩干机SA-SV422

立式甩干机SA-SV422

1、伺服电机驱动及主轴连接技术

1.1离心旋转冲洗甩干是设备的核心功能,旋转电机就成为设备的核心部件之一。本机采用伺服电机驱动方式,实现无极调速加减速可调。

1.2主轴采用双作用轴承提高轴向及径向负载能力,间隙更小。轴端与转盘间采用气密封保护,隔绝外界油污及大气污染腔体。保证圆片洁净度。

2、工作腔

工作腔体采用耐腐蚀的不锈钢焊接而成,腔体、篮架、支架等采用电解抛光钝化技术,易擦洗不生锈。

3、旋转载体及片架结构

3.1旋转载体由不锈钢转盘和可方便更换的不锈钢片架组成,如需更换片架,只需将片架卸下,即可更换为另一种片架。

3.2片架采用可反转式结构,放置花篮时将花篮翻转到一定角度可方便的将花篮放进片架内。

3.3该旋转载体及片架结构不仅更换方便,而且结构简洁,冲洗和甩干时,晶片及片盒不会留下死角。

4、层流风干法

晶片在旋转过程中,产生同一方向的气流,气流由设备门盖上方进入至上而下的气流方向,经由排风排水管道出。排风口在上方,排水口在下方。 气流经由除静电装置及高效过滤器处理微尘,满足颗粒度要求。

5、免冲水设计

设备无需增加额外冲水功能,避免二次污染,加快干燥工艺时间。

6、轴系动平衡及减震系统

硅片的生产中,降低生产过程中的碎片率是降低成本、提高利润的重要手段。而晶片干燥过程中震动过大、减震不良是造成碎片的主要原因。我们采用先进的现场动平衡仪,对设备的整个轴系进行动平衡。

7、系统控制技术

7.1控制系统采用可编程逻辑控制器,彩色液晶触摸屏汉显监控。可存储多种用户工艺菜单。同时具有密码保护功能,用户只有在输入正确的密码后才可对工艺菜单进行编辑和修改,否则只能调用已经保存工艺菜单。另外,根据用户的反馈,增加了管理员密码功能,以加强对工艺菜单的保护。

7.2设备运行过程中的工艺时间、转子速度、转速和工作状态以及故障信息等均在触摸屏上显示,使用户对设备状况做到一目了然。


立式甩干机SA-SV422

序号

项目

主要性能指标和参数

1、

电压

220VAC

2、

频率

50Hz

3、

功率

3.5KW

4、

加工晶片规格

150MM及100MM

5、

工作工位数

4个(2个6寸 2个4寸)

6、

工作建议转速

最高转速

1400转/分

1800转/分

7、

排水口管径

32mm(upvc)

8、

排风口径

110mm

9、

主要功能

甩干、烘干

10、

外形尺寸

810*810*900mm具体尺寸以实物为准


立式甩干机SA-SV422

该系列卧式甩干机具有较高洁净度的冲洗甩干功能,主要应用于太阳能电池片、半导体晶圆片、蓝宝石片等材料的干燥工艺。