1、伺服电机驱动及主轴连接技术
1.1离心旋转冲洗甩干是设备的核心功能，旋转电机就成为设备的核心部件之一。本机采用伺服电机驱动方式，实现无极调速加减速可调。
1.2主轴采用双作用轴承提高轴向及径向负载能力，间隙更小。轴端与转盘间采用气密封保护，隔绝外界油污及大气污染腔体。保证圆片洁净度。
2、工作腔
工作腔体采用耐腐蚀的不锈钢焊接而成，腔体、篮架、支架等采用电解抛光钝化技术，易擦洗不生锈。
3、旋转载体及片架结构
3.1旋转载体由不锈钢转盘和可方便更换的不锈钢片架组成，如需更换片架，只需将片架卸下，即可更换为另一种片架。
3.2片架采用可反转式结构，放置花篮时将花篮翻转到一定角度可方便的将花篮放进片架内。
3.3该旋转载体及片架结构不仅更换方便，而且结构简洁，冲洗和甩干时，晶片及片盒不会留下死角。
4、层流风干法
晶片在旋转过程中，产生同一方向的气流，气流由设备门盖上方进入至上而下的气流方向，经由排风排水管道出。排风口在上方，排水口在下方。 气流经由除静电装置及高效过滤器处理微尘，满足颗粒度要求。
5、免冲水设计
设备无需增加额外冲水功能，避免二次污染，加快干燥工艺时间。
6、轴系动平衡及减震系统
硅片的生产中，降低生产过程中的碎片率是降低成本、提高利润的重要手段。而晶片干燥过程中震动过大、减震不良是造成碎片的主要原因。我们采用先进的现场动平衡仪，对设备的整个轴系进行动平衡。
7、系统控制技术
7.1控制系统采用可编程逻辑控制器，彩色液晶触摸屏汉显监控。可存储多种用户工艺菜单。同时具有密码保护功能，用户只有在输入正确的密码后才可对工艺菜单进行编辑和修改，否则只能调用已经保存工艺菜单。另外，根据用户的反馈，增加了管理员密码功能，以加强对工艺菜单的保护。
7.2设备运行过程中的工艺时间、转子速度、转速和工作状态以及故障信息等均在触摸屏上显示，使用户对设备状况做到一目了然。
公安备案：
沪公网安备 31012002005477号
